[发明专利]静电驱动MEMS器件有效
| 申请号： | 201810471362.7 | 申请日： | 2015-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN108710203B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | R·卡尔米纳蒂;S·康蒂 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03B21/14;G03B21/20;G03B21/28;B81B7/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;董典红 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及静电驱动MEMS器件。MEMS器件具有经由接合臂对由支撑区域支撑的支撑物体。一种耦合到接合臂的静电驱动系统具有耦合到彼此的移动电极和固定电极。静电驱动系统由布置在相应的接合臂的相对侧上并且通过连接元件连接到接合臂的两对致动组件形成。每个致动组件横向延伸到悬挂物体并且具有支撑相应的多个移动电极的附属臂。每个附属臂平行于接合臂。连接元件可以是刚性的或者由联动装置形成。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 mems 器件 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS器件，包括：悬置块；支撑区域；接合臂，具有耦合到所述悬置块的第一端和耦合到所述支撑区域的第二端，所述接合臂具有从所述第一端延伸到所述第二端的纵轴，所述接合臂具有相对于所述纵轴而彼此相对的相对侧，所述接合臂和所述悬置块被配置为围绕所述纵轴旋转；连接元件，从所述接合臂的所述相对侧延伸；以及静电驱动系统，包括第一致动组件和第二致动组件，所述第一致动组件和所述第二致动组件布置在所述接合臂的所述相对侧上并且分别通过所述连接元件被耦合到所述接合臂，所述第一致动组件和所述第二致动组件中的每个致动组件包括交错布置的移动电极和固定电极。
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