[发明专利]电子设备、超声波指纹识别装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201810477851.3 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108764087B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 黄景泽;效烨辉;程泰毅;杨军 | 申请（专利权）人： | 上海思立微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;刘飞 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种电子设备、超声波指纹识别装置及其制造方法，该方法包括：基于CMOS工艺形成信号处理器；在所述信号处理器的上表面形成绝缘层；在所述绝缘层上基于MEMS工艺形成压电换能器，并将所述压电换能器与所述信号处理器进行电性连接。本申请实施例可节约超声波指纹识别装置的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 电子设备 超声波 指纹识别 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超声波指纹识别装置的制造方法，其特征在于，包括：基于CMOS工艺形成信号处理器；在所述信号处理器的上表面形成绝缘层；在所述绝缘层上基于MEMS工艺形成压电换能器，并将所述压电换能器与所述信号处理器进行电性连接。
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