[发明专利]激光扫略制备电热自循环微流控系统的方法及微流控系统在审

专利信息
申请号: 201810478743.8 申请日: 2018-05-18
公开(公告)号: CN108546645A 公开(公告)日: 2018-09-18
发明(设计)人: 弥胜利;李伟;李柏翰;夏圣悦;蒲海涛;胡迎炳;徐圆圆 申请(专利权)人: 清华大学深圳研究生院
主分类号: C12M3/04 分类号: C12M3/04;B81C1/00;B81C3/00
代理公司: 广东德而赛律师事务所 44322 代理人: 叶秀进
地址: 518055 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种激光扫略制备电热自循环微流控系统的方法及微流控系统,首先利用飞秒激光或纳秒激光对ITO玻璃基体进行切割,实现图案化,得到表面含有叉指状非对称结构的电热流泵电极的电极基底层,其次制备流道层和盖板层,所述流道层中分布有由流道串联的换液入口区、缓冲区以及生理模型区,最后将电极基底层、流道层和盖板层键合在一起,构成微流控系统,其中所述电热流泵电极位于所述换液入口区和缓冲区之间。本发明首次将激光刻蚀用于电热自循环微流控系统的制备,其电极制作过程简单方便,精度高,能够显著提高相同面积上电热流泵电极的排布数量,提高泵送效率。
搜索关键词: 微流控系统 制备 泵电极 流道层 自循环 电热 热流 缓冲区 激光 电极基 盖板层 入口区 换液 电极制作过程 非对称结构 泵送效率 飞秒激光 激光刻蚀 生理模型 叉指状 图案化 键合 流道 排布 上电 串联 切割
【主权项】:
1.一种激光扫略制备电热自循环微流控系统的方法,包括如下步骤:步骤一,利用飞秒激光或纳秒激光对ITO玻璃进行激光刻蚀,按照设计好的路径除去ITO表面的导电层,从而得到表面带电热流泵电极的电极基底层,所述电热流泵电极为叉指状非对称结构;步骤二,利用PDMS或PMMA材料制作流道层和盖板层,其中所述流道层为环形,在环形流道上至少分布有三个膨大区,分别作为换液入口区、缓冲区以及生理模型区;步骤三,将步骤一制得的电极基底层和步骤二制得的流道层和盖板层键合在一起,使得电热流泵电极暴露在换液入口区和缓冲区之间的流道中,在换液入口区和生理模型区上打上孔,并用盖片盖住,从而制得电热自循环微流控系统。
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