[发明专利]一种形貌参数可控的微纳探针批量制备装置及方法

摘要

本发明公开了一种形貌参数可控的微纳探针批量制备装置，机械装置部分包括z轴电机模组、x轴电机模组、电解反应模块、电解反应槽、清洗槽、绝缘处理槽、多通道微探针夹持模组；控制器包括微处理器、步进电机驱动器、步进电机细分驱动器、动态细分控制器、电解控制模块、多通道DA转换器、人机交互控制器。本发明兼顾了电机运动的速度和精度，能够让电机在长距离快速运动和短距离高精度移动；采用工序转移模组和工艺平台分立移动设计，单次能够完成多根微纳探针的制备；并提高了控制精度，具有高效、高成品率和易用性特点。本发明还设计了一种电压预测控制算法，实现了对电化学腐蚀法制备微纳探针中回路电流切断时间的控制。

主权项

1.一种形貌参数可控的微纳探针批量制备装置，其特征在于：包括z轴电机模组(1)、x轴电机模组(2)、电解反应模块(3)、多通道微探针夹持模组(7)和控制器；所述控制器包括微处理器，微处理器分别连接步进电机驱动器、步进电机细分驱动器、动态细分控制器、电解控制模块、多通道DA转换器、人机交互控制器；步进电机驱动器与x轴电机模组(2)相连接，x轴电机模组(2)与多通道微探针夹持模组(7)相连接；动态细分控制器连接步进电机细分驱动器，步进电机细分驱动器连接z轴电机模组(1)，z轴电机模组1连接电解反应模块(3)；多通道DA转换器通过功率放大模块与电解控制模块相连接，电解控制模块与电解反应模块(3)相连接；用户通过人机交互控制器设定所需的微纳探针形貌参数，微处理器将形貌参数转换为相应的控制量。