[发明专利]大面积石墨烯制备设备在审
申请号: | 201810479957.7 | 申请日: | 2018-05-18 |
公开(公告)号: | CN110498409A | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
发明(设计)人: | 金基哲 | 申请(专利权)人: | 烯驰科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C01B32/186 | 分类号: | C01B32/186;C23C16/26;C23C16/52 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200433 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 与本发明相关的大面积石墨烯制备设备包含如下部分:主机部;安装在上述主机部的上部,一侧可与进气口相连,另一侧可与真空单元相连的箱型炉(chamber);安装在上述炉(chamber)的上部的第1加热器;可调节上述第1加热器与上述炉(chamber)的相对位置的第1加热器驱动单元;安装在上述炉(chamber)的下部的第2加热器;以及可调节上述第2加热器与上述炉(chamber)的相对位置的第2加热器驱动单元。 | ||
搜索关键词: | 加热器 加热器驱动单元 可调节 主机部 进气口 大面积石墨烯 真空单元 制备设备 箱型炉 | ||
【主权项】:
1.一种大面积石墨烯制备设备,其特征在于,所述设备是包含下述部分的大面积石墨烯制备设备:/n主机部;/n安装在上述主机部的上部,一侧可与进气口相连,另一侧可与真空单元相连的箱型炉(chamber);/n安装在上述炉(chamber)的上部的第1加热器;/n可调节上述第1加热器与上述炉(chamber)的相对位置的第1加热器驱动单元;/n安装在上述炉(chamber)的下部的第2加热器;/n以及可调节上述第2加热器与上述炉(chamber)的相对位置的第2加热器驱动单元。/n
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