[发明专利]一氧化氮气敏材料及其在制备传感器上的应用在审
| 申请号： | 201810480317.8 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108572198A | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 章伟;胡烨伟;秦薇薇;全文静;闵信杰;胡雪峰;仇俊文 | 申请（专利权）人： | 南京工业大学;安徽六维传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;C23C14/28;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 朱小兵 |
| 地址： | 210009 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一氧化氮气敏材料及其在制备传感器上的应用。该一氧化氮气敏材料由In2O3和Nb2O5的WO3混合而成。此一氧化氮气敏材料在制备传感器上的应用包括以下步骤：称量In2O3，Nb2O5和WO3，混合后加入乙醇搅拌均匀，投入球磨机中磨碎得混合粉末；将混合粉末烘干后，加入粘合剂造粒；将母粒通过压片处理后烧结得一氧化氮气敏材料，备用；清洗平面电极，将一氧化氮气敏材料作为靶托和清洗完的平面电极装入脉冲激光沉积设备腔体内，调节，沉积薄膜；待沉积结束后，取出样品封装处理，即可。利用本发明一氧化氮气敏材料制备的传感器可以在较低的温度下检测ppb级的一氧化氮，且半导体型NO传感器体积小，制造工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化氮气 制备传感器 混合粉末 平面电极 传感器 清洗 球磨机 脉冲激光沉积设备 应用 粘合剂造粒 半导体型 材料制备 沉积薄膜 封装处理 一氧化氮 乙醇搅拌 制造工艺 烧结 体积小 烘干 靶托 沉积 称量 磨碎 母粒 压片 备用 装入 取出 体内 检测 | ||
【主权项】：
1.一氧化氮气敏材料，由In2O3和Nb2O5的WO3混合而成，所述In2O3和Nb2O5的WO3的质量比为1:1:98。
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