[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 201810482862.0 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108675259B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 周幸叶;冯志红;吕元杰;谭鑫;王元刚;宋旭波 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 祁静 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压力传感器，包括由下而上依次设置的衬底、支架、若干层的薄膜层和电极，支架上设有腔体，电极位于所述薄膜层的两端；所述薄膜层的层数大于1，且所述薄膜层为叉指结构。本发明提供的压力传感器，将薄膜层设置成叉指结构，在较大压力下发生层移，但不会形成裂纹，从而增强抗应变能力，实现高灵敏度、大量程、高稳定性和高可靠性的压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.压力传感器，其特征在于：包括由下而上依次设置的衬底、支架、若干层的薄膜层和电极，所述支架上设有腔体，所述电极位于所述薄膜层的两端；所述薄膜层的层数大于1，且所述薄膜层为叉指结构。
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