[发明专利]基于激光漫散射的表面缺陷检测装置

摘要

本发明涉及基于激光漫散射的表面缺陷检测装置，包括激光器、扩束器、第一调整镜、第二调整镜、第三调整镜、八面棱镜、远心扫描透镜、内积分球、被测表面和第一光电传感器；所述第一调整镜、第二调整镜和第三调整镜依次设置于扩束器之后，所述八面棱镜设于第三调整镜上方，所述八面棱镜中心设有驱动轴，所述内积分球底部设有第一开口，上部设有第二开口，所述内积分球内设有第一光电传感器。本发明的基于激光漫散射的表面缺陷检测装置采用了激光扫描和散射检测技术，可在很短的时间内对一光滑表面进行检测并确定缺陷的具体位置，且可对缺陷图像进行初步处理，实现了可视化操作，具有扫描速度快、检测效率、精度高等优点。

主权项

1.基于激光漫散射的表面缺陷检测装置，其特征在于：包括激光器(1)、扩束器(2)、第一调整镜(3)、第二调整镜(4)、第三调整镜(5)、八面棱镜(6)、远心扫描透镜(7)、内积分球(8)、被测表面(9)和第一光电传感器(10)；所述扩束器(2)用于将激光器(1)发射出的激光束直径扩大后，以平行光束输出；所述第一调整镜(3)、第二调整镜(4)和第三调整镜(5)依次设置于扩束器(2)之后，用以调整扩束器(2)扩束后的激光束方向，使其射到八面棱镜(6)上；所述八面棱镜(6)设于第三调整镜(5)上方，用于将第三调整镜(5)反射的扩束后的激光再次反射，使之通过远心扫描透镜(7)进入内积分球(8)；所述八面棱镜(6)中心设有驱动轴(61)，检测时，八面棱镜(6)随驱动轴(61)做定轴转动；所述内积分球(8)底部设有第一开口(81)，由远心扫描透镜(7)射入的光束通过第一开口(81)到达被测表面(9)，经过反射再次进入内积分球(8)；所述内积分球(8)上设有第二开口(82)，当被测表面(9)没有缺陷时，反射光束直接通过第二开口(82)离开；所述内积分球(8)内设有第一光电传感器(10)，用于精确测量由于被测表面(9)上的缺陷引起的散射光。