[发明专利]一种用于检查物体的表面的装置及方法有效
| 申请号： | 201810485539.9 | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN108957910B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 施会丰;宋雷;邓江汶 | 申请（专利权）人： | 先进科技新加坡有限公司 |
| 主分类号： | G03B15/02 | 分类号： | G03B15/02;G03B35/08;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 艾晶 |
| 地址： | 新加坡，义*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于检查物体的表面的装置具有第一光源，该第一光源用于照射物体而不在物体上产生图案化图像。第二光源将由来自第二光源的第一偏振光产生的图案化图像投影到物体上，其中第一偏振光是在第一偏振方向上偏振的。第三光源将由来自第三光源的第二偏振光产生的图案化图像投影到物体上，其中第二偏振光是在不同于第一偏振方向的第二偏振方向上偏振的。当物体分别由第一、第二和第三光源照射时，成像设备观察物体的表面以便确定物体的表面的轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检查 物体 表面 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检查物体的表面的装置，其特征在于，包括：第一光源，用于照射物体而不在物体上产生图案化图像；第二光源，用于将由来自第二光源的第一偏振光产生的图案化图像投影到物体上，第一偏振光是在第一偏振方向上偏振的；第三光源，用于将由来自第三光源的第二偏振光产生的图案化图像投影到物体上，第二偏振光是在不同于第一偏振方向的第二偏振方向上偏振的；以及成像设备，用于当物体分别被第一光源、第二光源和第三光源照射时，拍摄物体表面的图像，以便确定物体表面的轮廓。
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