[发明专利]采用网格电极热极化制备具有周期性显微二阶非线性极化率光学元件的制备方法

摘要

本发明公开了一种采用网格电极热极化制备具有周期性显微二阶非线性极化率光学元件的制备方法，以表面涂覆了银线的钠钙硅玻璃作为盖玻片，Ni网格作阳极，硅片作阴极，对钠钙硅玻璃进行显微热极化处理，利用周期性电场和热场方法可实现多种微米级显微结构的光学元件。本发明能通过调整Ni网格尺寸和气氛、电压、温度及时间热极化参数来达到控制样品的周期性与形貌。本发明方法能一次实现具有周期性显微二阶非线性极化率的光学元件，实现图案分辨率可达微米甚至纳米级水平，相对传统材料制备效率可提高数倍至数十倍，微结构分布与尺寸的形貌和原子或分子结构的成份可控，制备效率高。

主权项

1.一种采用网格电极热极化制备具有周期性显微二阶非线性极化率光学元件的制备方法，其特征在于：以钠钙硅玻璃作为样品，以表面涂覆了银线的另一片玻璃作为盖玻片，以Ni网格作阳极，以硅片作阴极，将作为阳极的Ni网格和硅片分别设置于作为样品的钠钙硅玻璃两侧，将Ni网格设置于作为盖玻片的玻璃和作为样品的钠钙硅玻璃之间，将作为样品的钠钙硅玻璃和作为盖玻片的玻璃上的银线作为阳极，形成热极化制备光学元件的装置并将其置于密封的盒子中，Ni网格采用具有周期性显微网格图案形式，对作为样品的钠钙硅玻璃进行加热，并向密封的盒子中通入非氧化性气体形成气体氛围，并对热极化制备光学元件的装置的作阳极的Ni网格和作阴极的硅片外加电压，对作为样品的钠钙硅玻璃进行显微热极化处理，从而在钠钙硅玻璃表面形成与作为阳极的Ni网格微结构图案一致的极化层，然后将作为样品的钠钙硅玻璃进行冷却后，得到所需的具有周期性显微二阶非线性极化率光学元件。