[发明专利]用于压电悬臂梁的振动、蠕变及迟滞级联补偿方法有效
| 申请号： | 201810493498.8 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN108490795B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陈远晟;董妍男;应展烽;张旭东;颜建虎;徐冰;赵荪翀;杨国文 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于压电悬臂梁的振动、蠕变及迟滞级联补偿方法，针对微系统中的迟滞、蠕变等非线性和振动限制了微操作中的精度问题，利用前馈技术改善用于微操作任务中的压电悬臂梁的总体性能；使用动态线性模型，将蠕变部分与阶跃响应曲线分离来识别蠕变；确定线性静态增益和蠕变模型，使用开环控制来补偿蠕变；在零振动输入整形技术的基础上，确定阻尼振荡系统的增益，考虑输入的脉冲振幅及其应用时间的延迟。本发明可以降低迟滞非线性，减小蠕变，并大幅移除超调，提高微观调节的便利性与稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 压电 悬臂梁 振动 迟滞 级联 补偿 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于压电悬臂梁的振动、蠕变及迟滞级联补偿方法，其特征在于，使输入信号依次通过振动控制器、蠕变补偿器和迟滞补偿器后施加于压电悬臂梁，使系统逐步识别和补偿振动、蠕变和迟滞这三种现象。
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