[发明专利]具有频率选择功能的电容式MEMS麦克风及其制作方法

摘要

本发明涉及具有频率选择功能的电容式MEMS麦克风及其制作方法。现有电容式MEMS麦克风不具备选用或调节麦克风的拾音频率范围功能。本发明由下向上依次包括硅衬底、SiO2刻蚀停止层、下多晶硅圆环电极、SiO2支撑层、上多晶硅振膜层。贯穿硅衬底、SiO2刻蚀停止层和下多晶硅圆环电极开设有背腔，贯穿SiO2支撑层开设有阻尼腔,连通的背腔和阻尼腔为阶梯状圆筒形。上多晶硅振膜层架设在阻尼腔上；上多晶硅振膜层靠近边沿位置设置有圆环形的弹性结构。本发明在上多晶硅振膜层与硅衬底之间设置阻尼腔，在振膜振动时，空腔会对振膜产生阻尼作用，根据对不同声音频率所产生的不同阻尼作用，实现麦克风的频率选择功能。

主权项

1.具有频率选择功能的电容式MEMS麦克风，其特征在于：由下向上依次包括硅衬底(1)、SiO2刻蚀停止层(2)、下多晶硅圆环电极(3)、SiO2支撑层(4)、上多晶硅振膜层(5)；贯穿硅衬底(1)、SiO2刻蚀停止层(2)和下多晶硅圆环电极(3)开设有圆筒形的背腔(6)；贯穿SiO2支撑层(4)开设有圆筒形的阻尼腔(7)；圆筒形的背腔(6)和阻尼腔(7)同轴设置，背腔(6)的圆形横截面直径小于阻尼腔(7)的圆形横截面直径,连通的背腔和阻尼腔为阶梯状圆筒形；圆形的上多晶硅振膜层(5)架设在阻尼腔(7)上；上多晶硅振膜层(5)靠近边沿位置设置有圆环形的弹性结构，弹性结构的圆周外沿与阻尼腔(7)内壁对应；所述的弹性结构由圆周排列的多组通槽(8)组成，增加弹性结构环形内部分的上多晶硅振膜弹性。