[发明专利]一种量程和灵敏度可调的柔性传感器及其制备方法

摘要

本发明属于传感器制备领域，并公开了一种量程和灵敏度可调的柔性传感器及其制备方法。该方法包括：(a)在该刚性透明基板上依次沉积激光反应层和透明柔性基板，将激光反应层与刚性透明基板分离，以此获得激光反应层与透明柔性基板层的双层结构；(b)根据所需制备的传感器的类型沉积电极层；(c)激光照射柔性透明基板，激光反应层吸收所述激光的能量发生烧蚀分解反应，反应生成的气体将激光反应层被照射的区域顶起且与柔性透明基板分离，从而在柔性透明基板与激光反应层之间形成空腔，由此完成柔性传感器的制备。本发明还公开了该制备方法获得的产品，通过本发明，制备方法简单，制备的传感器灵敏度高，量程实时可调。

主权项

1.一种量程和灵敏度可调的柔性传感器的制备方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：(a)选取刚性透明基板，在该刚性透明基板上沉积厚度在1微米至50微米之间的激光反应层，在该激光反应层上沉积厚度在50微米至5毫米之间的透明柔性基板，将所述激光反应层与所述刚性透明基板分离，以此获得激光反应层与透明柔性基板层的双层结构，判断所需制备的传感器的类型；(b)当制备的传感器为压电传感器时，在所述激光反应层上方沉积采用压电材料的传感器功能层，然后在该功能层上方沉积用于引出待测量信号的电极层；当制备的传感器为平行板电容传感器时，在所述激光反应层的上方沉积电极层；(c)在所述柔性透明基板的下方采用激光照射该柔性透明基板，其中，该透明柔性基板下方的两端放置掩膜版，所述激光穿透未放置掩膜版区域的柔性透明基板照射至所述激光反应层的下底面，该激光反应层吸收所述激光的能量发生烧蚀分解反应，该反应生成的气体将所述激光反应层被照射的区域顶起且与所述柔性透明基板分离，从而在所述柔性透明基板与激光反应层之间形成空腔，通过调节所述空腔的内部气压与高度和该空腔上方的激光反应层、功能层或电极层的厚度分别实现所述柔性传感器量程和灵敏度的调整。