[发明专利]电可编程熔丝的编程方法有效

专利信息
申请号: 201810497511.7 申请日: 2018-05-22
公开(公告)号: CN108735662B 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 于奎龙;韩坤 申请(专利权)人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
主分类号: H01L21/768 分类号: H01L21/768;G11C17/18
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 430205 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种电可编程熔丝的编程方法,利用电可编程熔丝的导电介质在不同条件下会呈现不同的物理变化的特点,采用第一编程条件将所述导电介质从初始物理状态变化到熔化扩散等第一物理状态,以把电可编程熔丝从低阻态编程到中间阻态,采用第二编程条件将所述导电介质从所述初始物理状态或所述第一物理状态变化到第二物理状态,以把电可编程熔丝从低阻态或中间阻态编程到高阻态,即通过两种不同的编程条件实现三种信息存储状态的转换,可以显著提高电可编程熔丝器件的信息存储密度和芯片面积利用率,有利于芯片尺寸缩减。
搜索关键词: 可编程 编程 方法
【主权项】:
1.一种电可编程熔丝的编程方法,其特征在于,所述电可编程熔丝中具有导电介质,所述导电介质具有初始物理状态、第一物理状态以及第二物理状态,所述编程方法包括以下步骤:采用第一编程条件对所述电可编程熔丝进行编程,使所述导电介质从初始物理状态变化到第一物理状态,以将所述电可编程熔丝从低阻态编程到中间阻态;采用不同于所述第一编程条件的第二编程条件对所述电可编程熔丝进行编程,使所述导电介质从初始物理状态或所述第一物理状态变化到第二物理状态,以将所述电可编程熔丝从所述低阻态或所述中间阻态编程到高阻态。
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