[发明专利]动态随机存取存储器及其制造方法

摘要

本发明提供一种动态随机存取存储器，包括：基底、位线、电容器接触窗、介电结构、电容器以及着陆垫。位线位于基底上。电容器接触窗位于所述位线旁。电容器接触窗的上表面高于位线的上表面，使得电容器接触窗的上侧壁外露于位线。介电结构位于位线的上表面上，并延伸至电容器接触窗的上侧壁的一部分。电容器位于电容器接触窗上。着陆垫至少覆盖电容器接触窗的上表面的一部分。着陆垫与电容器接触窗之间的接触面积大于着陆垫与电容器之间的接触面积。

主权项

1.一种动态随机存取存储器，其特征在于，包括：位线，位于基底上；电容器接触窗，位于所述位线旁，其中所述电容器接触窗的上表面高于所述位线的上表面，使得所述电容器接触窗的上侧壁外露于所述位线；介电结构，位于所述位线的所述上表面上，并延伸至所述电容器接触窗的所述上侧壁的一部分；电容器，位于所述电容器接触窗上并与所述电容器接触窗电性连接；以及着陆垫，位于所述电容器接触窗与所述电容器之间，以电性连接所述电容器接触窗与所述电容器，所述着陆垫至少覆盖所述电容器接触窗的所述上表面的一部分，其中所述着陆垫与所述电容器接触窗之间的接触面积大于所述着陆垫与所述电容器之间的接触面积。