[发明专利]一种锆钛酸铅薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201810497823.8 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN108517503A | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王凤霞;陈涛;孙立宁 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 | 代理人： | 袁丽花 |
| 地址： | 215104 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种锆钛酸铅薄膜的制备方法，通过准分子的激光器发出的高能量脉冲激光束轰击靶材分子，从靶材上剥离分子或分子团，并在可控温加热基底上沉积形成致密均匀的薄膜。本发明的方法操作简单、能耗低，实现了低温、低能耗高结晶性锆钛酸铅薄膜材料的制备，可以满足不同器件的需求，有较好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 锆钛酸铅薄膜 靶材 锆钛酸铅薄膜材料 致密 高能量脉冲 激光束轰击 高结晶性 激光器 低能耗 分子团 可控温 准分子 基底 沉积 薄膜 加热 能耗 剥离 应用 | ||
【主权项】：
1.一种锆钛酸铅薄膜的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：S1、将干净的基底及锆钛酸铅靶材置于腔体内；S2、抽真空至腔体内压强到1x10‑4Pa以下；S3、向抽真空后的腔体内加载氧气；S4、打开脉冲激光器激发靶材；S5、靶材分子在一定生长温度下于基底上初步形成薄膜；S6、将薄膜原位退火处理，得到目标产物锆钛酸铅薄膜。
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