[发明专利]椭球反射镜照明自适应谐波共焦显微测量方法在审
| 申请号： | 201810498567.4 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN108982428A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 王伟波;刘俭;吴必伟;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 椭球反射镜照明自适应谐波共焦显微测量方法属于非线性光学测量领域；将椭球反射式照明系统、共焦显微测量方法、自适应像差校正方法与谐波显微方法有机结合，可提升谐波显微测量分辨力。飞秒激光脉冲经光束整形、扫描振镜反射后进入自适应光学像差补偿单元，经相位调制和像差校正后形成照明光束进入椭球面反射镜系统，并会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发聚焦光斑。样品经激发光激发后会同时产生二次和三次谐波信号，被右侧双路复合的共焦显微测量系统收集并解析。谐波信号被大数值孔径物镜收集后，经二向分色镜后分离为两个不同波长信号，经窄带滤光片、成像物镜聚焦，通过针孔后分别被光电倍增管(PMT)接收。所用的谐波收集模块采用共焦收集模式。共焦针孔的切趾作用可以有效的抑制混叠信号噪声对谐波信号解析的干扰，大大提高显微系统的测量分辨力。 | ||
| 搜索关键词： | 谐波 共焦显微测量 谐波信号 自适应 针孔 椭球反射镜 像差校正 共焦 分辨 解析 飞秒激光脉冲 三次谐波信号 椭球面反射镜 大数值孔径 二向分色镜 反射式照明 非线性光学 光电倍增管 窄带滤光片 自适应光学 波长信号 测量领域 成像物镜 光束整形 混叠信号 聚焦光斑 扫描振镜 收集模块 系统收集 显微测量 显微系统 相位调制 像差补偿 有机结合 照明光束 激发光 激发 双路 椭球 物镜 显微 反射 噪声 会聚 测量 聚焦 复合 | ||
【主权项】：
1.椭球反射镜照明自适应谐波共焦显微测量方法，将椭球反射式照明系统、共焦显微测量方法、自适应像差校正方法与谐波显微方法有机结合；其实现方式为：飞秒激光脉冲经光束整形、扫描振镜反射后进入自适应光学像差补偿单元，经相位调制和像差校正后形成照明光束进入椭球面反射镜系统，并会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发聚焦光斑；样品经激发光激发后会同时产生二次和三次谐波信号，被右侧双路复合的共焦显微测量系统收集并解析；谐波信号被大数值孔径物镜收集后，经二向分色镜后分离为两个不同波长信号，经窄带滤光片、成像物镜聚焦，通过针孔后分别被光电倍增管(PMT)接收；其特征在于将椭球反射式照明系统、共焦显微测量方法、自适应像差校正方法与谐波显微方法有机结合。
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