[发明专利]一种基于磁控溅射的柜体表面金属镀膜工艺在审
| 申请号： | 201810498812.1 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110527961A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 苏峰 | 申请（专利权）人： | 南京史丹利装饰材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 32296 南京睿之博知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈琛<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 211102 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于磁控溅射的柜体表面金属镀膜工艺，包括：将待镀柜体进行镀膜前处理、抽真空处理后，在真空镀膜室内充入氩气，通过围绕待镀柜体安装的若干溅射源对待镀柜体的表面进行磁控溅射镀膜处理；实时监测待镀柜体表面的镀膜厚度变化，根据反馈的扫描结果监控镀膜异常状况，实时调整修正真空镀膜室的氩气充入量；当镀金属膜达到所需厚度后，将已镀柜体送入大气过渡室内，等待取件。本发明通过易于控制、大面积、强附着的磁控溅射实现柜体表面高效、低温、低损伤的镀膜工艺，有效提高柜体的镀膜效率及镀膜质量，从而保证柜体具有良好的防潮隔热效果。 | ||
| 搜索关键词： | 柜体 镀膜 氩气 磁控溅射 柜体表面 磁控溅射镀膜 金属镀膜工艺 室内 抽真空处理 真空镀膜室 镀金属膜 镀膜工艺 镀膜效率 防潮隔热 厚度变化 监控镀膜 扫描结果 实时调整 实时监测 异常状况 真空镀膜 低损伤 溅射源 前处理 取件 附着 送入 修正 反馈 保证 | ||
【主权项】：
1.一种基于磁控溅射的柜体表面金属镀膜工艺，其特征在于，包括以下步骤：/nS1：将待镀柜体进行镀膜前处理后送入真空预抽室内进行大气过渡真空处理，抽真空至4帕；/nS2：通过传送带将待镀柜体送入与真空预抽室相接的真空镀膜室内进行低真空过渡高真空处理，抽真空至4×10-2帕；/nS3：在真空镀膜室内充入氩气，通过围绕待镀柜体安装的若干溅射源对待镀柜体的表面进行磁控溅射镀膜处理；/nS4：通过光学扫描仪实时监测待镀柜体表面的镀膜厚度变化，控制系统根据反馈的扫描结果监控镀膜异常状况，实时调整修正真空镀膜室的氩气充入量；/nS5：检测到镀金属膜达到所需厚度后，将已镀柜体送入大气过渡室内，等待取件。/n
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