[发明专利]射频电源输出功率的校准方法和校准装置有效
| 申请号： | 201810501926.7 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110531301B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 姜宏伟;陈庆 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/04 | 分类号： | G01R35/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种射频电源输出功率的校准方法和校准装置。该方法包括：获取所述射频电源的多个预设输出校准功率A[i]，i＝1,2,…,n；获取所述负载的多个实际功率B[i]，i＝1,2,…,n，所述负载的多个实际功率B[i]与多个所述预设输出校准功率A[i]一一对应；根据多个所述预设输出校准功率A[i]和多个所述实际功率B[i]获得所述负载的实际功率B与所述射频电源的预设输出校准功率A之间的函数关系B＝F(A)；将所述预设输出校准功率A与所述实际功率B之间的函数关系F作为所述射频电源的理论输出功率C与所述负载的预期功率P之间的函数关系：P＝F(C)。依据该方法可提高射频电源输出功率校准的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 电源 输出功率 校准 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种射频电源输出功率的校准方法，所述射频电源用于驱动负载，其特征在于，所述校准方法包括：/n获取所述射频电源的多个预设输出校准功率A[i]，i＝1,2,…,n；/n获取所述负载的多个实际功率B[i]，i＝1,2,…,n，所述负载的多个实际功率B[i]与多个所述预设输出校准功率A[i]一一对应；/n根据多个所述预设输出校准功率A[i]和多个所述实际功率B[i]获得所述负载的实际功率B与所述射频电源的预设输出校准功率A之间的函数关系B＝F(A)；/n将所述预设输出校准功率A与所述实际功率B之间的函数关系F作为所述射频电源的理论输出功率C与所述负载的预期功率P之间的函数关系：P＝F(C)。/n
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