[发明专利]陶瓷电容式压力传感器及提高压力检测精度的方法在审
申请号: | 201810502097.4 | 申请日: | 2018-05-23 |
公开(公告)号: | CN108593187A | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 张利峰 | 申请(专利权)人: | 金陵科技学院 |
主分类号: | G01L9/12 | 分类号: | G01L9/12 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 陈卓 |
地址: | 210000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种陶瓷电容式压力传感器及提高压力检测精度的方法,包括基座、固定电极和可变电极,基座一端设有球面凹槽,固定电极固定连接在球面凹槽表面,固定电极和可变电极之间形成电容容室;球面凹槽表面固定连接有热敏陶瓷温度传感器,固定电极表面与热敏陶瓷温度传感器相紧密抵接;热敏陶瓷温度传感器可检测出固定电极的实时温度,通过计算可得到温度使固定电极与可变电极之间产生的距离变化值,然后对该距离变化值的计算可得到温度对陶瓷电容式压力传感器测得的压力差值,将差值与测得压力值进行相互计算,可得到实际的压力值,从而达到减小温度对陶瓷电容式压力传感器对压力检测值的影响,提高陶瓷电容式压力传感器的检测准确度。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 固定电极 陶瓷电容 温度传感器 可变电极 球面凹槽 热敏陶瓷 压力检测 距离变化 固定电极表面 准确度 表面固定 可检测 电容 抵接 减小 容室 检测 | ||
【主权项】:
1.一种陶瓷电容式压力传感器,包括基座(6)、固定电极(1)和可变电极(2),基座(6)一端设有球面凹槽(61),固定电极(1)固定连接在球面凹槽(61)表面,固定电极(1)和可变电极(2)之间形成电容容室(3);其特征是:球面凹槽(61)表面固定连接有热敏陶瓷温度传感器(10),热敏陶瓷温度传感器(10)嵌入在基座(6)内且靠近固定电极(1)的一面为球面,热敏陶瓷温度传感器(10)的球面直径与球面凹槽(61)的球面直径相同,热敏陶瓷温度传感器(10)的球面与球面凹槽(61)的球面相对齐,固定电极(1)表面与热敏陶瓷温度传感器(10)相紧密抵接;基座(6)中心开设有通气孔(62),通气孔(62)穿过热敏陶瓷温度传感器(10)将电容容室(3)与外部大气相连通。
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