[发明专利]基于波形匹配的石英晶片研磨控制与在线测频方法

摘要

本发明公开了基于波形匹配的石英晶片研磨控制与在线测频方法，能在石英晶片研磨过程中稳定实时地测量从5M到70MHZ的频率；本系统可以显示晶片研磨生产过程中的各种状态并提出建议，在线测频过程中实时监控石英晶片研磨状态，若出现异常情况实时关停研磨机，防止超频事件的发生，用户可根据触摸屏上显示的这些状态有效提高生产效率；加入“跳频约束策略”彻底解决ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题；提供晶片研磨实时平均频率、研磨速率和散差等多样化统计参数，为更换研磨砂和维修研磨盘面提供科学依据，解决ALC系统“无法监控研磨机状态”的缺陷。

主权项

1.基于波形匹配的石英晶片研磨控制与在线测频方法，其特征在于，系统通电开机后，进行外设初始化配置，外设初始化结束后，提示系统开始通电工作；系统进入硬件自检，硬件自检结果进行显示；硬件自检未通过则等待用户进行检修后重新进行自检；通过硬件自检后则进入数据初始化流程；数据初始化结束后系统进入待机状态；系统在待机状态下实时监测控制及设置按钮的操作，并根据控制及设置按钮的操作，作出控制动作或者读取设置参数后，根据设置的参数作出控制动作；所述控制及设置按钮的操作包括参数设置操作，系统实时监控用户参数设置操作状态，一旦进入参数设置操作状态，对系统运行过程中的扫频参数、波形匹配参数、谐振频率显示参数和谐振频率约束参数进行设置；扫频参数包括单位时间内扫频次数、扫频幅值、扫频速度、扫频步进；波形匹配参数包括搜索宽度、峰值约束；谐振频率显示参数包括频率校准；谐振频率约束参数包括极差设置；所述控制及设置按钮的操作还包括进入单次测频流程的操作、读取控制策略参数的操作、读取在线测频参数的操作、进入修盘流程操作和进入在线测频流程的操作；单次测频流程的操作包括：单次测频流程根据扫频参数的设置对石英晶片进行谐振频率测试，单次测频流程对系统的AD采样数据的处理，通过波形匹配方法、数据平滑处理和求最大值方法分析得出晶片的静态谐振频率、标准差、实时峰高、谐振线宽、单位时间内的谐振次数，测频结果发送进行显示;在线测频流程包括：首先设定在线测频中的扫频参数；随后判断AD采集数据个数是否达到设定值，如果没达到，则继续等待直到AD采集数据个数达到设定值，如果达到，则进行谐振频率搜索方法；所述谐振频率搜索方法通过波形匹配方法、数据平滑处理和求最大值方法来处理AD采样的数据，获取谐振频率相关的统计信息；所述谐振频率相关的统计信息包括谐振波形搜索是否成功，获取谐振波形的峰峰值、谐振波形峰值所在的步进点、谐振线宽、谐振次数信息；经过谐振频率搜索方法处理后，需要判断谐振频率是否搜索成功，如果搜索不成功，说明本次采集到的数据不是石英晶振谐振时的数据，则等待下一次的数据处理，如果搜索成功，则判断谐振波形的峰峰值是否大于设定值，如果不满足，说明本次采集到的数据不是石英晶振谐振时的数据，则等待下一次的数据处理，如果满足，则判断当前谐振频率是否满足频宽约束条件，如果不满足，则等待下一次的数据处理，如果满足，则计算谐振平均频率及相关的统计量信息，将计算得到的统计量信息与设定的约束条件进行比较，如果满足这些约束条件，则将谐振平均频率值及相关统计信息发送显示，否则只要有一项条件不满足要求，则停止在线测频流程，进入待机模式。