[发明专利]位移检测装置

摘要

本发明涉及一种位移检测装置。位移检测装置具备第1衍射光栅、光源、位移检测部、受光部。位移检测部具备光束分割部、第2衍射光栅、参照用反射构件。第1光束向第1衍射光栅入射的入射角度、第1衍射光栅的衍射角度、第1光束向第2衍射光栅入射的入射角度、第2衍射光栅的衍射角度设为，使被测量构件向与被测量面正交的方向位移时的、第1光束的从光束分割部入射到第1衍射光栅为止的光程长度的位移量和第1光束的从第1衍射光栅入射到第2衍射光栅为止的光程长度的位移量相等。

主权项

1.一种位移检测装置，其特征在于，该位移检测装置包括：第1衍射光栅，其设于被测量构件的被测量面；以及头部，其与所述被测量构件的所述被测量面相对配置，所述头部和所述被测量构件能够沿与所述被测量面平行的方向和与所述被测量面正交的方向中的至少一者相对移动，所述头部包括：光源，其用于照射光；位移检测部，其将从所述光源照射来的所述光分割为第1光束和第2光束，将所述第1光束朝向所述第1衍射光栅照射；以及受光部，其接收所述第2光束和经由所述位移检测部从所述第1衍射光栅返回来的所述第1光束，所述位移检测部包括：光束分割部，其将所述光分割为所述第1光束和所述第2光束，并且将被分割出的所述第1光束朝向所述第1衍射光栅照射；第2衍射光栅，其对被所述光束分割部分割并被所述第1衍射光栅衍射了的所述第1光束进行衍射，将所述第1光束再次向所述第1衍射光栅照射；参照用反射构件，其反射被所述光束分割部分割出的所述第2光束；以及光束结合部，其使被所述第1衍射光栅和所述第2衍射光栅衍射的所述第1光束与被所述参照用反射构件反射的所述第2光束重叠而向所述受光部照射，所述第1光束向所述第1衍射光栅入射的入射角度、所述第1衍射光栅的衍射角度、所述第1光束向所述第2衍射光栅入射的入射角度、所述第2衍射光栅的衍射角度设为，使所述头部和所述被测量构件中的至少一者向与所述被测量面正交的方向位移时的、所述第1光束的从所述光束分割部入射到所述第1衍射光栅为止的光程长度的位移量和所述第1光束的从所述第1衍射光栅入射到所述第2衍射光栅为止的光程长度的位移量相等。