[发明专利]一种外腔激光器及其调谐方法在审
申请号: | 201810503699.1 | 申请日: | 2018-05-23 |
公开(公告)号: | CN108832481A | 公开(公告)日: | 2018-11-16 |
发明(设计)人: | 严进一;龚谦;王海龙;曹春芳;周长帅;赵旭熠;高金金 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01S5/14 | 分类号: | H01S5/14 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 邓琪 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种外腔激光器,其沿一光轴依次排布有半导体光增益芯片、准直透镜和一维平面光栅,半导体光增益芯片的一个腔面与一维平面光栅共同组成光学谐振腔,所述一维平面光栅设置为在一维平面光栅所在平面内进行平移,其与一一维驱动机构连接。本发明还提供了该外腔激光器的调谐方法。本发明的外腔激光器利用平移一维平面光栅实现调谐功能,一维平动可以利用压电陶瓷或马达进行驱动,简便易行,结构简单、易于设计和实现;而且一维平动仅仅产生相位变化,外腔结构中比如光程等物理量将保持不变,可以有效提高外腔激光器的调谐精度。 | ||
搜索关键词: | 外腔激光器 调谐 光栅 一维平面 平移 一维平动 光增益 半导体 物理量 芯片 光学谐振腔 设计和实现 平面光栅 驱动机构 所在平面 外腔结构 相位变化 压电陶瓷 准直透镜 光程 光轴 排布 腔面 马达 驱动 | ||
【主权项】:
1.一种外腔激光器,其沿一光轴(I,I’)依次排布有半导体光增益芯片(1,1’)、准直透镜(2,2’)和一维平面光栅(3,3’),半导体光增益芯片(1,1’)的一个腔面与一维平面光栅(3,3’)共同组成光学谐振腔,其特征在于,所述一维平面光栅(3,3’)设置为在一维平面光栅(3,3’)所在平面内进行平移,其与一一维驱动机构(4,4’)连接。
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