[发明专利]一种微机械加速度计控制方法及装置在审
| 申请号： | 201810503868.1 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN108803473A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 吴海斌;郑旭东;金仲和;马志鹏;林一羽 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05;G01P15/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 郑海峰 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机械加速度计控制方法及装置，该方法包括适用于具有驱动电极结构和调谐结构的微机械加速度计，本发明将一定频率的余弦注入调制信号施加到微机械加速度计的驱动电极上，固定调谐电压施加到非线性调谐结构上，将微机械加速度计经过高频载波调制解调模块后的输出信号一路通过频率自调节模块得到调谐控制信号并施加在线性调谐结构上，另一路通过加速度闭环测量模块得到外界输入加速度大小并且形成闭环反馈控制信号，所形成的闭环反馈控制信号和一定频率的余弦注入调制信号一起共同作用到驱动电极上。本发明可以实现任意控制微机械加速度计的谐振频率大小，同时不影响加速度测量，能有效提高微机械加速度计的稳定性和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机械加速度计 驱动电极 闭环反馈控制 注入调制信号 施加 余弦 调谐 调谐控制信号 调制解调模块 非线性调谐 加速度闭环 加速度测量 测量模块 调谐电压 高频载波 输出信号 线性调谐 谐振频率 | ||
【主权项】：
1.一种微机械加速度计控制方法，其特征在于微机械加速度计具有驱动电极结构和混合调谐结构，混合调谐结构包括线性调谐结构和非线性调谐结构，工作在加速度测量闭环的模式上；余弦注入调制信号施加到微机械加速度计的驱动电极上，固定调谐电压施加到非线性调谐结构上，将微机械加速度计经过高频载波调制解调模块后的输出信号一路通过频率自调节模块得到调谐控制信号并施加在线性调谐结构上，另一路通过加速度闭环测量模块得到外界输入加速度大小并且形成闭环反馈控制信号，所形成的闭环反馈控制信号和一定频率的余弦注入调制信号一起共同作用到驱动电极上，从而可以通过频率自调节模块使处于闭环模式下的微机械加速度计稳定工作在恒定的谐振频率上。
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