[发明专利]一种柔性纳米压印模板及其制备方法在审
| 申请号： | 201810506859.8 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN108732863A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 程鑫;黄兴隆 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种柔性纳米压印模板及其制备方法。本发明的柔性纳米压印模板由非晶合金层和镍基底层复合而成。本发明的柔性纳米压印模板，结合了镍金属较高的强硬度、好的延展性能和非晶合金光滑耐腐蚀的优点，具有1nm以下的粗糙度，方便脱模，柔性好，具有良好的力学性能和耐光酸腐蚀性，特别适用于小尺寸高精度图形的纳米压印。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性纳米压印模板 制备 非晶合金层 非晶合金 力学性能 纳米压印 延展性能 粗糙度 耐腐蚀 镍金属 强硬度 光滑 耐光 镍基 脱模 复合 | ||
【主权项】：
1.一种柔性纳米压印模板，其特征在于，所述柔性纳米压印模板由非晶合金层和镍基底层复合而成。
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