[发明专利]加热装置及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201810508756.5 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN108658605A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 梅心涛;向其军;谭毅成 | 申请（专利权）人： | 深圳市商德先进陶瓷股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B35/622;C04B41/88;H05B3/28 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 潘霞 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种加热装置及其制备方法和应用。该加热装置的制备方法包括如下步骤：制备两个板状的生坯，每个生坯的材料包括陶瓷粉料，陶瓷粉料包括氮化铝和助烧剂；在其中一个生坯的一个表面上形成金属坯体层，金属坯体层的材料包括钨和添加剂，添加剂选自氧化钇及氧化铝中的至少一种；在形成有金属坯体层的生坯上层叠另一个生坯，以使金属坯体层位于两个生坯之间，得到层叠件；将层叠件压合，以使两个生坯与金属坯体层紧密接触，并使两个生坯的边缘相粘合而使两个生坯共同密封金属坯体层，得到复合坯体；将复合坯体烧结处理，得到加热装置。上述方法制备得到的加热装置能够对晶圆较为均匀的加热且使用寿命较长。 | ||
| 搜索关键词： | 生坯 加热装置 金属坯体 制备 制备方法和应用 复合坯体 陶瓷粉料 层叠件 添加剂 密封金属 烧结处理 使用寿命 氮化铝 坯体层 氧化铝 助烧剂 自氧化 粘合 板状 晶圆 压合 加热 上层 | ||
【主权项】：
1.一种加热装置的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：制备两个板状的生坯，每个所述生坯的材料包括陶瓷粉料，所述陶瓷粉料包括氮化铝和助烧剂，所述助烧剂与所述氮化铝的质量比为3:100～5:100；在其中一个所述生坯的一个表面上形成金属坯体层，所述金属坯体层的材料包括钨和添加剂，所述添加剂选自氧化钇及氮化铝中的至少一种；在形成有所述金属坯体层的所述生坯上层叠另一个所述生坯，以使所述金属坯体层位于两个所述生坯之间，得到层叠件；将所述层叠件压合，以使两个所述生坯与所述金属坯体层紧密接触，并使两个所述生坯的边缘相粘合而使两个所述生坯共同密封所述金属坯体层，得到复合坯体；及将所述复合坯体烧结处理，得到所述加热装置。
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