[发明专利]光配向系统及光配向方法有效
| 申请号： | 201810508889.2 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN108761927B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 吴佳星;王旭宏 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种光配向系统，包括曝光机、线栅偏振片和掩膜板，曝光机用于提供光源；线栅偏振片可转动地设置于曝光机前，线栅偏振片可形成第一偏振方向的偏振光和第二偏振方向的偏振光，第一偏振方向不同于第二偏振方向；所述掩膜板包括多个透光区，各透光区包括第一子透光区和第二子透光区，第一子透光区能透过第一偏振方向的偏振光，第二子透光区能透过第二偏振方向的偏振光。本发明的光配向系统无需更换掩膜板，能降低生产成本。本发明还涉及一种光配向方法。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光配向系统，其特征在于，包括：曝光机，用于提供光源；线栅偏振片，所述线栅偏振片可转动地设置于所述曝光机前，所述线栅偏振片可形成第一偏振方向的偏振光和第二偏振方向的偏振光，所述第一偏振方向不同于所述第二偏振方向；以及掩膜板，所述掩膜板包括多个透光区，各所述透光区包括第一子透光区和第二子透光区，所述第一子透光区能透过第一偏振方向的偏振光，所述第二子透光区能透过第二偏振方向的偏振光。
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