[发明专利]具有改进的电气特征的微机电谐振器

摘要

一种MEMS谐振器配备有基底、在由第一轴线和第二轴线形成的水平平面中悬置在基底上方的移动结构，移动结构具有彼此平行并且沿着第二轴线延伸的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂通过第一横向接合元件和第二横向接合元件在第一臂和第二臂的相应的端部处耦合以形成内部窗口。第一电极结构定位在窗口外部并且电容性耦合至移动结构。第二电极结构定位在窗口内部。第一电极结构和第二电极结构的一个电极结构引起挠曲臂以谐振频率沿着第一水平轴线在相反方向上的振荡运动，并且另一个电极结构具有检测振荡的功能。悬置结构在窗口中具有悬置臂。附接装置在窗口中居中地耦合至悬置元件并且接近第二电极结构。

主权项

1.一种MEMS谐振器，包括：基底；移动结构，悬置在所述基底上方，并且所述移动结构的主延伸部在由彼此正交的第一水平轴线和第二水平轴线形成的水平平面中，所述结构包括彼此平行并且沿着所述第二水平轴线延伸的第一挠曲臂和第二挠曲臂，所述第一挠曲臂和所述第二挠曲臂通过第一横向接合元件和第二横向接合元件在所述第一挠曲臂和所述第二挠曲臂的相应的端部处耦合，所述第一横向接合元件和所述第二横向接合元件具有沿着所述第一水平轴线的延伸部以与所述第一挠曲臂和所述第二挠曲臂形成内部窗口；第一电极结构，定位在所述窗口外部并且在所述水平平面中电容性耦合至所述移动结构；第二电极结构，定位在所述窗口内部并且在所述水平平面中电容性耦合至所述移动结构，所述第一电极结构和所述第二电极结构中的一个电极结构具有引起所述第一挠曲臂和所述第二挠曲臂以对应的谐振频率沿着所述第一水平轴线在相反方向上的振荡移动的功能，并且所述第一电极结构和所述第二电极结构中的另一个电极结构具有检测所述振荡的功能；以及悬置结构，被配置成将所述移动结构悬置在所述基底上方，所述悬置结构包括在所述窗口内部在所述第一横向接合元件与所述第二横向接合元件之间延伸的悬置臂、以及耦合至所述悬置臂并耦合至所述基底的附接装置，所述附接装置居中地定位在所述窗口中并且接近所述第二电极结构。