[发明专利]一种柔性可弯曲杂化太阳能电池的制备方法

摘要

一种柔性可弯曲杂化太阳能电池的制备方法，对n型Si片预处理，再进行金属辅助腐蚀处理，在n型Si片表面腐蚀出纳米线阵列；将处理后的n型Si片泡入甲醛溶液中浸泡，在Si纳米线表面引入Methacrylate基团；在处理后的Si纳米线表面滴涂液态单体，利用真空负压将单体灌入Si纳米线阵列中，并加热固化；将处理后的Si基片放入KOH溶液中浸泡；在处理后的Si基片与薄膜间施加一个切向力；对处理后获得的嵌套Si纳米线的聚合物薄膜进行等离子刻蚀；在处理后的薄膜一面旋涂上PEDOT:PSS，薄膜另一面蒸镀上铝作为背电极，最后利用掩膜版在PEDOT:PSS表面蒸镀上银栅电极，作表面电极。

主权项

1.一种柔性可弯曲杂化太阳能电池的制备方法，其特征在于包括以下步骤：/n1)对n型Si片预处理，再进行金属辅助腐蚀处理，在n型Si片表面腐蚀出纳米线阵列；/n2)将步骤1)处理后的n型Si片泡入溶有体积百分比3％Methacryloxypropyltrichlorosilane的甲醛溶液中浸泡，在Si纳米线表面引入Methacrylate基团；/n3)在步骤2)处理后的Si纳米线表面滴涂上带有Methacrylate基团的液态单体，利用真空负压将单体灌入Si纳米线阵列中，并加热固化，由于Methacrylate基团的碳碳双键将互相成键，最终实现聚合物与Si纳米线的键合，同时也钝化Si纳米线表面的界面态，大大降低电池漏电；/n4)将步骤3)处理后的Si基片放入KOH溶液中浸泡，没有被聚合物包覆的Si纳米线将被KOH腐蚀，为下一步机械剥离制造缺陷层；/n5)在步骤4)处理后的Si基片与薄膜间施加一个切向力，使得二者沿着缺陷层分离；/n6)对步骤5)处理后获得的嵌套Si纳米线的聚合物薄膜进行等离子刻蚀，使得两面的Si纳米线露出；/n7)在步骤6)处理后的薄膜一面旋涂上PEDOT:PSS，薄膜另一面蒸镀上铝作为背电极，最后利用掩膜版在PEDOT:PSS表面蒸镀上银栅电极，作表面电极。/n