[发明专利]一种光刻胶、微纳温湿敏感智能器件及其制备方法

摘要

本发明属于光刻胶及激光直写技术领域，并公开了一种光刻胶、微纳温湿敏感智能器件及其制备方法，该光刻胶包括温敏单体、亲水性丙烯酸酯、阳离子型光引发剂和溶剂，温敏单体与亲水丙烯酸酯的摩尔比为(0.5～5):1，每毫升的温敏单体与亲水丙烯酸酯的混合液中含有0.6‑2mg的阳离子型光引发剂，温敏单体、亲水性丙烯酸酯和阳离子型光引发剂的体积总量与溶剂的体积比为10:(0.5～3)，所述微纳温湿敏感智能器件由上述光刻胶制备。本发明制备的光刻胶具有亲水亲醇性，制备的智能器件具有温湿敏特性，具有制备工艺简单，操作便利等优点。

主权项

1.一种光刻胶，其特征在于，包括温敏单体、亲水性丙烯酸酯、阳离子型光引发剂和溶剂，所述温敏单体、亲水性丙烯酸酯、阳离子型光引发剂和溶剂的配比如下：温敏单体与亲水丙烯酸酯的摩尔比为(0.5～5):1，每毫升的温敏单体与亲水丙烯酸酯的混合液中含有0.6‑2mg的阳离子型光引发剂，温敏单体、亲水性丙烯酸酯和阳离子型光引发剂的体积总量与溶剂的体积比为10:(0.5～3)。