[发明专利]一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟及制造方法在审
| 申请号： | 201810510945.6 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN108441842A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 姜明理;马里奥;李为兵;苗晓东;张江城;李文江;董凤荣 | 申请（专利权）人： | 山东伟基炭科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 刘乃东 |
| 地址： | 250102 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟及制造方法，在石墨舟毛坯料中浸渍有树脂，石墨舟毛坯经过固化处理、加工、高温处理使树脂充分炭化，在石墨舟表面形成一层薄膜，包括以下步骤：先把石墨原材料放置在真空炉内高温纯化、形成石墨舟毛坯料；石墨舟毛坯料放入调配的树脂中浸渍；石墨舟毛坯料固化处理形成坯体；固化后的坯体加工成成品；加工完的成品高温处理，树脂炭化，在成品表面形成薄膜；本发明能够在石墨舟片表面形成一层均匀的抗氧化薄膜使用寿命长，大大降低了使用和维护成本，具有良好的经济效益和社会效益。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨舟 毛坯料 树脂 浸渍 抗氧化涂层 表面形成 高温处理 固化处理 炭化 管式 坯体 薄膜 加工 抗氧化薄膜 石墨原材料 成品表面 高温纯化 石墨舟片 使用寿命 真空炉 放入 毛坯 固化 制造 调配 维护 | ||
【主权项】：
1.一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟，其特征是，在石墨舟毛坯料中浸渍有树脂，石墨舟毛坯经过固化处理、加工、高温处理使树脂充分炭化，在石墨舟表面形成一层薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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