[发明专利]可复位样品桩和样品复位方法有效
| 申请号： | 201810512734.6 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN110534389B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 张文涛;鲍芳;张庆珍;刘伟新;俞凌杰;李志明 | 申请（专利权）人： | 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油勘探开发研究院 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;何娇 |
| 地址： | 100728 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种样品复位方法，用于扫描电镜分析，包括以下步骤：将样品和两个定位柱固定在样品桩的台面上；记录所观察分析的样品微区的坐标以及两个定位柱顶面中心标记点的坐标；再次对样品进行观察分析时，获得两个定位柱顶面中心标记点的新坐标；获取所观察分析的样品微区的新坐标；根据所观察分析的样品微区的新坐标，扫描电镜复位至所观察分析的样品微区。本发明提供的样品复位方法可以快速准确的将样品复位到原来的观察视野，满足某些实验条件下的重复观察需要。 | ||
| 搜索关键词： | 复位 样品 方法 | ||
【主权项】：
1.一种样品复位方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1、将样品和两个定位柱固定在样品桩的台面上；/nS2、将固定有所述样品和定位柱的样品桩固定在扫描电镜的样品台上，利用所述扫描电镜对所述样品的微区进行观察分析，并记录所观察分析的样品微区的坐标(x，y)以及两个定位柱顶面中心标记点的坐标(xa，ya)和(xb，yb)；/nS3、再次对样品进行观察分析时，将承载有所述样品和定位柱的样品桩再次固定在扫描电镜的样品台上，并通过扫描电镜获得两个所述定位柱顶面中心标记点的新坐标(xa'，ya')和(xb'，yb')；/nS4、根据平面直角坐标变换公式以及所获取的定位柱顶面中心标记点的新坐标(xa'，ya')和(xb'，yb')得到对应第一次所观察分析的样品微区的新坐标(x'，y')；/nS5、将对应第一次所观察分析的样品微区的新坐标(x'，y')输入扫描电镜样品台的控制模块，所述扫描电镜将观察视野移动至对应第一次所观察分析的样品微区。/n
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