[发明专利]一种三腔滑片式真空泵

摘要

本发明公开了一种三腔滑片式真空泵，包括吸气端盖(1)、泵腔(2)、滑片(3)、转子(4)和排气端盖(5)。采用三工作腔结构，吸气端盖(1)、泵腔(2)、排气端盖(5)与转子(4)之间形成三个完全相同的封闭工作腔，且所形成的封闭工作腔均为不对称工作腔，排气口附近工作腔容积相对吸气口附近较小。在工作过程中，任意时刻位于不同工作腔的滑片的相对位置不同。因此，各工作腔工作步调不一致，能够避免三个工作腔同时排气，可减小排气气流脉动。本发明显著提高了三腔滑片真空泵的内容积比，有效地提高了三腔滑片真空泵的极限真空度，改善了由排气流量脉动引起的振动、噪声问题。

主权项

1.一种三腔滑片式真空泵，包括：吸气端盖(1)、泵腔(2)、滑片(3)、转子(4)和排气端盖(5)，其特征是：吸气端盖(1)、泵腔(2)、排气端盖(5)与转子(4)之间形成三个完全相同的工作腔，包括：第一工作腔(201)、第二工作腔(202)、第三工作腔(203)，所述的三个工作腔关于回转中心O点成120°旋转对称；所述的泵腔(2)的内腔型线由6条曲线组成，包括：第一复合函数曲线ab、第一过渡曲线bc、第二复合函数曲线cd、第二过渡曲线de、第三复合函数曲线ef和第三过渡曲线fa，各段相邻曲线之间光滑过渡，泵腔(2)的内腔型线在任意位置处满足二阶导数连续；泵腔(2)的内腔型线是不对称的，即不存在通过回转中心O点的中心线使泵腔(2)的内腔型线关于其成轴对称；所述的三个工作腔均为不对称工作腔；所述的第一复合函数曲线ab、第二复合函数曲线cd和第三复合函数曲线ef完全相同，中心角均为α；所述的第一过渡曲线bc、第二过渡曲线de和第三过渡曲线fa完全相同，中心角均为β，且满足β∈[π/36,π/12]，α+β＝2π/3。