[发明专利]一种RF-MEMS单刀双掷开关及微带天线阵列

摘要

本发明实施例提供的一种RF‑MEMS单刀双掷开关及微带天线阵列，包括：衬底、信号线、公共接地端、至少两个微电子机械开关，其中，信号线包括第一支路信号线和第二支路信号线，并且分别具有第一断开区域和第二断开区域；公共接地端覆盖第一断开区域和第二断开区域，通过第一断开区域和第二断开区域使得公共接地端连接为一个整体；微电子机械开关包括开关梁和电极板，并且微电子机械开关分别设置于所述第一断开区域和所述第二断开区域。不需要设置格外的空气桥，就能够使得整个公共接地端的电势相等。从而简化了RF‑MEMS单刀双掷开关的结构，降低了成本。

主权项

1.一种RF‑MEMS单刀双掷开关，其特征在于，所述RF‑MEMS单刀双掷开关包括：衬底；信号线，所述信号线设置于所述衬底上，与所述衬底固定连接，所述信号线的输入端经过设置在所述衬底上固定连接的阻抗变换器，将所述信号线分为第一支路信号线和第二支路信号线，其中，所述第一支路信号线和第二支路信号线分别具有第一断开区域和第二断开区域；公共接地端，所述公共接地端设置在所述衬底上，与所述衬底固定连接，并且设置于所述信号线周围，与所述信号线实现共面波导结构；所述公共接地端覆盖所述第一断开区域和所述第二断开区域，通过所述第一断开区域和所述第二断开区域使得所述公共接地端连接为一个整体；至少两个微电子机械开关，所述微电子机械开关包括开关梁和电极板，所述微电子机械开关分别设置于所述第一断开区域和所述第二断开区域；其中一个所述微电子机械开关的开关梁的两端分别与所述第一断开区域两侧的所述第一支路信号线相连接，使得所述第一支路信号线通过该开关梁实现连通，该微电子机械开关的电极板设置于该开关梁下方，与所述第一断开区域覆盖的所述公共接地端固定连接；另一个所述微电子机械开关的开关梁的两端分别与所述第二断开区域两侧的所述第二支路信号线相连接，使得所述第二支路信号线通过该开关梁实现连通，该微电子机械开关的电极板设置于该开关梁下方，与所述第二断开区域覆盖的所述公共接地端固定连接。