[发明专利]直拉单晶直径测量方法有效
| 申请号： | 201810515369.4 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN110528070B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 郭力;周锐;李侨;徐战军;王正远;赵会刚;张伟建;刘永生;武高峰 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 钟欢 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种直拉单晶直径测量方法，包括步骤：提供设置于熔硅液面上方的导流筒；通过视觉系统采集单晶生长图像，所述单晶生长图像包括单晶生长光圈以及导流筒下口在熔硅液面上的投影；以及获取导流筒下口内侧直径实际值，利用导流筒下口内侧直径校准单晶直径。本发明实现了单晶直径的全自动校准，并提高了校准精度，适用于所有单晶炉台。 | ||
| 搜索关键词： | 直拉单晶 直径 测量方法 | ||
【主权项】：
1.直拉单晶直径测量方法，其特征在于，包括步骤：/n提供设置于熔硅液面上方的导流筒；/n通过视觉系统采集单晶生长图像，所述单晶生长图像包括单晶生长光圈以及导流筒下口在熔硅液面上的投影；以及/n获取导流筒下口内侧直径实际值，利用导流筒下口内侧直径校准单晶直径。/n
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