[发明专利]基于衍射重叠迭代算法的应力测量装置和方法

摘要

一种基于衍射重叠迭代算法的应力测量装置和方法，该装置包括光源、起偏器、检偏器、两个四分之一波片、滤波器、载物台、两个透镜、夹持有衍射物体的平移台、CCD和采集电脑。测量方法是将待测光学元件置于圆偏振平行光场中，旋转检偏器，分别记录两组不同偏振状态下物体的衍射图样。利用衍射重叠迭代算法重建两组光场的振幅和相位，结合琼斯矩阵分析，提取出待测元件的等差线、等和线和等倾线，并利用元件光弹参数得到定量的应力信息。本发明充分利用PIE的相位测量优势，将等倾线和等和线均从相位信息中精确提取出来，适用于元件应力的全场测量，对光学元件应力测量技术的发展具有重要的实际意义。

主权项

1.一种基于衍射重叠迭代算法的应力测量装置，其特征在于：包括激光器(1)，沿该激光器(1)的激光输出的光路方向依次是起偏器(2)、第一四分之一波片(3)、滤波器(4)、第一透镜(5)、载物台(6)、第二透镜(7)、第二四分之一波片(8)、检偏器(9)、夹持有衍射物体的平移台(10)、CCD(11)、电脑(12)，所述的CCD(11)的输出端和电脑(12)的输入端相连，所述的电脑(12)的输出端与所述的载物台(6)的控制端相连，所述的起偏器(2)、第一四分之一波片(3)、第二四分之一波片(8)、检偏器(9)可绕光轴旋转，所述的滤波器(4)的小孔位于所述的第一透镜(5)的前焦点，所述的第二透镜(7)的后焦点位于所述的第二四分之一波片(8)和检偏器(9)之间。