[发明专利]一种区熔单晶小头切除装置及提高切除效率的装置有效
申请号: | 201810517849.4 | 申请日: | 2018-05-25 |
公开(公告)号: | CN108486646B | 公开(公告)日: | 2023-08-04 |
发明(设计)人: | 李伟凡;涂颂昊;郝大维;边智学;刘愿;郭宝川;王遵义;孙晨光;王彦君;孙健 | 申请(专利权)人: | 天津中环领先材料技术有限公司 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 薛萌萌 |
地址: | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明提供了一种区熔单晶小头切除装置及提高切除效率的装置,包括中心固定轴、撞击杆、弹力装置及可前后运动的刀架机构;刀架机构前端设有刀片机构,弹力装置设置在刀架机构后端,中心固定轴与刀架机构转动连接,撞击杆与中心固定轴固接,驱动机构驱动刀架前后运动。本发明所述的一种区熔单晶小头切除装置及提高切除效率的装置,能够在切除单晶小头时不拆炉的条件下,减小单晶小头的切除过程中所产生的粉尘,进而保证炉膛环境满足高品质区熔单晶加工的需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 区熔单晶 小头 切除 装置 提高 效率 | ||
【主权项】:
1.一种区熔单晶小头切除装置,其特征在于:包括中心固定轴(3)、撞击杆(5)、弹力装置(6)及可前后运动的刀架机构;所述刀架机构前端设有刀片机构,所述弹力装置(6)设置在所述刀架机构后端,所述中心固定轴(3)与所述刀架机构转动连接,所述撞击杆(5)与所述中心固定轴(3)固接。
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