[发明专利]荧光粉涂布系统及方法在审
申请号: | 201810519170.9 | 申请日: | 2018-05-28 |
公开(公告)号: | CN110538778A | 公开(公告)日: | 2019-12-06 |
发明(设计)人: | 黄涛;魏勇强 | 申请(专利权)人: | 江西省晶能半导体有限公司 |
主分类号: | B05C19/04 | 分类号: | B05C19/04;B05C19/06;B05C13/02;B05C5/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 330096 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明提供了一种荧光粉涂布系统及方法,其中,在该荧光粉涂布系统中包括:用于放置晶圆的载台;用于固定荧光胶载具的机械臂,机械臂与载台固定连接,置于载台上方;用于控制荧光胶涂布的点胶机,点胶机与荧光胶载具电连接;用于控制载台/机械臂按照预设路径运动的控制器,控制器分别与载台/机械臂及点胶机电连接。其采用控制器控制荧光胶载具定量出胶,代替现有技术中的人工手动打胶,使每次打胶都在设定范围内,节省荧光粉成本,避免荧光胶的浪费和人力的浪费。 | ||
搜索关键词: | 机械臂 荧光胶 载台 载具 荧光粉涂布 控制器 点胶机 打胶 荧光粉 控制器控制 固定荧光 机电连接 人工手动 预设路径 电连接 出胶 点胶 晶圆 | ||
【主权项】:
1.一种荧光粉涂布系统,其特征在于,所述荧光粉涂布系统中包括:/n用于放置晶圆的载台;/n用于固定荧光胶载具的机械臂,所述机械臂与所述载台固定连接,置于所述载台上方;/n用于控制荧光胶涂布的点胶机,所述点胶机与所述荧光胶载具电连接;/n用于控制载台/机械臂按照预设路径运动的控制器,所述控制器分别与载台/机械臂及点胶机电连接。/n
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