[发明专利]一种基于金属探针的太赫兹超分辨成像装置及成像方法有效
| 申请号： | 201810520030.3 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN108844914B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 刘伟伟;李帅;龚诚;苏强 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | G01N21/3586 | 分类号： | G01N21/3586 |
| 代理公司： | 天津耀达律师事务所 12223 | 代理人： | 张耀 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种基于金属探针的太赫兹超分辨成像装置及成像方法，该技术基于太赫兹波在金属探针上以表面等离激元形式传输至探针针尖处形成远小于太赫兹波长尺寸的太赫兹光斑，在针尖末端近场区域内放置待成像样品，针尖与样品的近场区域内设置垂直度检测模块以及近场距离反馈模块，样品固定于二维电控平移台以在针尖末端进行扫描成像，样品之后放置太赫兹探测器用来探测待成像样品每一个扫描点处透射的太赫兹强度信号，将待成像样品上每一个扫描点处的太赫兹信号强度采集并关联绘图，即可实现样品在太赫兹波段内的超分辨成像，成像分辨率取决于针尖末端尺寸与扫描步进位移，最高分辨率可达纳米量级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 探针 赫兹 分辨 成像 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于金属探针的太赫兹超分辨成像装置，其特征在于：在沿太赫兹波传播的方向上依次有太赫兹辐射源(1)、太赫兹棱镜(2)、金属探针(3)、开有小孔的金属挡板(4)、待成像样品(5)、垂直度检测模块(6)、近场距离反馈模块(7)、太赫兹探测器(8)；其中太赫兹棱镜(2)与金属探针(3)之间采用表面接触式的Kretschmann耦合方式来激发起金属探针(3)上的太赫兹表面等离激元。
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