[发明专利]一种基于阻抗谱的压电器件结构缺陷检测方法

摘要

本发明公开了一种基于阻抗谱的压电器件结构缺陷检测方法，属于电子技术领域，本发明使用了差异因子来量化不同压电器件之间阻抗谱的差异，通过对一批已知合格和已知不合格样品的差异因子作统计，得到可用于缺陷检测的标准阻抗谱以及阈值。测试新样品的阻抗谱并计算其与标准阻抗谱之间的差异因子，通过新样品差异因子与阈值的比较结果，可以判断新样品是否合格。依靠本方法，可以快速、无损的判断压电器件是否合格。

主权项

1.一种基于阻抗谱的压电器件结构缺陷检测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将一批已知合格的压电器件的正负电极与阻抗分析仪相连接，输出其阻抗谱；计算这些阻抗谱彼此之间的差异因子并求和，从中选择求和结果最小的阻抗谱作为标准阻抗谱；步骤2：将一批已知合格与已知不合格的压电器件的正负极与阻抗分析仪相连接并输出其阻抗谱；计算这些阻抗谱与标准阻抗谱之间的差异因子，与标准阻抗谱之间的差异因子定义为损伤因子，选择合格样品与不合格样品损伤因子的临界值作为阈值；步骤3：测试新生产的压电器件的阻抗谱，并计算其损伤因子，将损伤因子与阈值相比较，大于阈值的即为不合格样品，小于阈值的即为合格样品。