[发明专利]光学晶片制造设备

摘要

本发明涉及光学晶片制造领域，具体涉及光学晶片制造设备，机架上依次设置有打磨盘、起伏机构和滚珠丝杠副，打磨盘转动设置于机架上；起伏机构包括楔形块和若干起伏单元，每个起伏单元包括起伏板和弹簧，起伏板围成上、下端均开口的杯体，杯体上端的开口直径大于杯体下端的开口直径；起伏板的下端铰接于机架上，起伏板的上端通过弹簧与机架固定连接，弹簧位于杯体外部；楔形块能绕杯体的外部转动并间歇推动起伏板转动；滚珠丝杠副包括螺杆和螺母座，螺杆转动设置于机架上，螺母座上固定有海绵层，海绵层能与杯体的下端接触。采用本技术方案时，能在均匀打磨光学晶片的同时对光学晶片进行倒角。

主权项

1.光学晶片制造设备，其特征在于：包括机架、打磨盘、起伏机构、齿杆、滚珠丝杠副和电机，所述打磨盘转动设置于机架上，且打磨盘的侧壁上套设有齿圈；所述齿杆竖直转动设置于机架上，且齿杆与齿圈啮合；所述电机固定在机架上，电机输出轴竖直向上且电机输出轴上同轴固定有齿轮，所述齿轮与齿杆啮合；所述起伏机构包括楔形块和若干起伏单元，每个起伏单元包括起伏板和弹簧，所述起伏板围成上、下端均开口的杯体，杯体上端的开口直径大于杯体下端的开口直径；所述起伏板的下端铰接于机架上，所述起伏板的上端通过弹簧与机架固定连接，所述弹簧位于杯体外部，所述楔形块能绕杯体的外部转动并间歇推动起伏板转动；所述滚珠丝杠副包括螺杆和螺母座，所述螺杆与电机输出轴固定连接，所述螺母座上固定有海绵层，所述海绵层能与杯体的下端接触。