[发明专利]改良石英坩埚及其制作方法有效
| 申请号： | 201810526785.4 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN108531980B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 王建军;李常国;李杰;何玉鹏;郭宝东 | 申请（专利权）人： | 宁夏富乐德石英材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06;C04B41/87;C04B35/14 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种改良石英坩埚及其制作方法，属于单晶硅制造设备技术领域，本发明通过增加石英坩埚外表面的粗糙度能够增加石英坩埚与石墨坩埚接触的孔隙率，在石英坩埚高温与石墨坩埚发生反应产生气体时，气体能够通过石英坩埚与石墨坩埚之间的孔隙导出，从而避免石英坩埚发生变形，另外，在石英坩埚内表面上喷射氢氧化钡溶液，以通过氢氧化钡与空气中的二氧化碳发生反应生成碳酸钡，再通过碳酸钡与石英坩埚发生反应生成硅酸钡，硅酸钡再诱导石英坩埚内表面生成一层致密的晶体方石英层，由于晶体方石英无软化点且强度高，提高了石英坩埚内壁的强度，从而防止了石英坩埚发生变形。本方法能够有效的减少石英坩埚在高温下发生变形，同时方便操作。 | ||
| 搜索关键词： | 改良 石英 坩埚 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种改良石英坩埚，其特征在于：石英坩埚的外表面粗糙度为200um～2000um，且石英坩埚内表面涂覆有晶体方石英涂层。
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