[发明专利]用于制造磁性结的自组装图案方法

摘要

描述了可用于磁性器件中的磁性结和一种用于提供磁性结的方法。提供图案化的晶种层。图案化的晶种层包括散布有绝缘基质的磁晶种岛。在图案化的晶种层之后提供磁阻堆栈的至少一部分。磁阻堆栈包括至少一个磁性分离层。磁性分离层包括至少一种磁性材料和至少一个绝缘体。该方法至少使磁阻堆栈的该部分退火，以使得该至少一个磁性分离层分离。磁性分离层的成分分离，使得磁性材料的部分与磁晶种岛对准，并且使得绝缘体的部分与绝缘基质对准。

主权项

1.一种用于在衬底上提供能够用于磁性器件的多个磁性结的方法，所述方法包括：提供图案化的晶种层，所述图案化的晶种层包括散布有绝缘基质的多个磁晶种岛；在提供所述图案化的晶种层的步骤之后提供磁阻堆栈的至少一部分，所述磁阻堆栈包括至少一个磁性分离层，所述至少一个磁性分离层包括至少一种磁性材料和至少一个绝缘体；使所述磁阻堆栈的所述至少一部分退火，以使得所述至少一个磁性分离层分离，使得所述至少一种磁性材料的多个部分与所述多个磁晶种岛对准，并且使得所述至少一个绝缘体的多个部分与所述绝缘基质对准。