[发明专利]一种用于微型刀具离子镀膜设备的充气装置在审
申请号: | 201810527952.7 | 申请日: | 2018-05-29 |
公开(公告)号: | CN108486533A | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 王岩;刘洋 | 申请(专利权)人: | 大连维钛克科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 116600 辽宁省大连市*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种用于微型刀具离子镀膜设备的充气装置,包括进气管、充气管和锁紧螺母,进气管贯穿安装于真空室壁,进气管位于真空室壁内侧的一端为直角结构,进气管位于真空室壁内侧的一端通过锁紧螺母连接充气管。充气管包括带有排气孔的充气管内层和充气管外层。本发明的用于微型刀具离子镀膜设备的充气装置,充气装置放置在真空室内的侧面,位置对称,充气装置可以自由旋转,自由固定位置来达到使空心阴极枪工作的时候,被镀工件附近气体均匀分布,使下层镀膜质量也达到要求,废品率非常低;充气管采用双层结构,使气体混合更加均匀,提高了镀膜质量。 | ||
搜索关键词: | 充气管 充气装置 进气管 离子镀膜设备 微型刀具 真空室壁 锁紧螺母 镀膜 空心阴极枪 被镀工件 气体混合 双层结构 位置对称 直角结构 排气孔 内层 下层 室内 侧面 贯穿 自由 | ||
【主权项】:
1.一种用于微型刀具离子镀膜设备的充气装置,其特征在于:包括进气管(9)、充气管(7)和锁紧螺母(8),进气管(9)贯穿安装于真空室壁(10),进气管(9)位于真空室壁(10)内侧的一端为直角结构,进气管(9)位于真空室壁(10)内侧的一端通过锁紧螺母(8)连接充气管(7)。
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