[发明专利]一种用于微型刀具离子镀膜设备的充气装置在审

专利信息
申请号: 201810527952.7 申请日: 2018-05-29
公开(公告)号: CN108486533A 公开(公告)日: 2018-09-04
发明(设计)人: 王岩;刘洋 申请(专利权)人: 大连维钛克科技股份有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 116600 辽宁省大连市*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种用于微型刀具离子镀膜设备的充气装置,包括进气管、充气管和锁紧螺母,进气管贯穿安装于真空室壁,进气管位于真空室壁内侧的一端为直角结构,进气管位于真空室壁内侧的一端通过锁紧螺母连接充气管。充气管包括带有排气孔的充气管内层和充气管外层。本发明的用于微型刀具离子镀膜设备的充气装置,充气装置放置在真空室内的侧面,位置对称,充气装置可以自由旋转,自由固定位置来达到使空心阴极枪工作的时候,被镀工件附近气体均匀分布,使下层镀膜质量也达到要求,废品率非常低;充气管采用双层结构,使气体混合更加均匀,提高了镀膜质量。
搜索关键词: 充气管 充气装置 进气管 离子镀膜设备 微型刀具 真空室壁 锁紧螺母 镀膜 空心阴极枪 被镀工件 气体混合 双层结构 位置对称 直角结构 排气孔 内层 下层 室内 侧面 贯穿 自由
【主权项】:
1.一种用于微型刀具离子镀膜设备的充气装置,其特征在于:包括进气管(9)、充气管(7)和锁紧螺母(8),进气管(9)贯穿安装于真空室壁(10),进气管(9)位于真空室壁(10)内侧的一端为直角结构,进气管(9)位于真空室壁(10)内侧的一端通过锁紧螺母(8)连接充气管(7)。
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