[发明专利]一种超厚无氢类金刚石薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201810528013.4 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN108411258A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张林;张朝奎;王明磊 | 申请（专利权）人： | 大连维钛克科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种超厚无氢类金刚石薄膜及其制备方法，金属基体上部涂覆Cr粘结层，Cr粘结层上部为C/C多层复合膜，C/C多层复合膜是由软C膜和硬C膜交替沉积构成。制备方法，包括以下步骤：（1）工件预处理；（2）离子清洗；（3）Cr粘结层的制备；（4）C/C多层复合膜的制备。本发明用真空离子镀技术通过控制基体偏压制备了软硬交替的C/C多层膜，各层界面相互匹配，薄膜具有较好的结合力和韧性，高偏压下离子轰击产生的诱导效应导致薄膜中的SP2键向sp3键转变，增强了类金刚石薄膜的耐磨性能。这种同质多层结构，使薄膜的硬度高达40GPa，摩擦系数低于0.15，并具有良好耐久性，因此扩大了类金刚石薄膜工程化应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 薄膜 多层复合膜 粘结层 类金刚石薄膜 无氢类金刚石 超厚 真空离子镀技术 工程化应用 工件预处理 多层结构 基体偏压 交替沉积 金属基体 离子轰击 离子清洗 摩擦系数 耐磨性能 诱导效应 多层膜 高偏压 交替的 结合力 同质 涂覆 匹配 | ||
【主权项】：
1.一种超厚无氢类金刚石薄膜，其特征在于：金属基体（1）上部涂覆Cr粘结层（2），Cr粘结层（2）上部为C/C多层复合膜（3），C/C多层复合膜（3）是由软C膜和硬C膜交替沉积构成。
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