[发明专利]一种压力可调的浮离抛光装置

摘要

本发明涉及一种压力可调的浮离抛光装置，属于超精密抛光领域。包括磁浮式微位移机构、抛光盘机构、夹具保持平台机构、电机传动机构；第一、第二电磁铁安装在抛光盘和抛光容器底部，抛光盘固定在抛光托盘上端，第二主轴固定在抛光托盘下端；夹具保持平台由固定件固定在抛光容器壁上，旋转夹具放置在夹具保持平台的孔内底部平台上，工件保持盘卡在旋转夹具内，压力传感器设置在工件保持盘底部，轮齿传动零件的滑块与夹具保持平台凹槽连接，并与旋转夹具轮齿啮合；电机安装在支撑架上，电机轴穿过滚动轴承，通过联轴器、平键、第一主轴与轮齿转动零件连接。本浮离抛光装置有效的避免因压力不稳定造成抛光面质量差的问题，提升了抛光质量。

主权项

1.一种压力可调的浮离抛光装置，其特征在于：包括抛光容器(1)、支撑架(6)、磁浮式微位移机构、抛光盘机构、夹具保持平台机构、电机传动机构，支撑架(6)位于抛光容器(1)外侧，磁浮式微位移机构、抛光盘机构、夹具保持平台机构均位于抛光容器(1)内部，磁浮式微位移机构包括第一电磁铁(18)、第二电磁铁(19)、电磁铁控制系统、压力传感器(22)；抛光盘机构包括抛光盘(2)、抛光托盘(20)、第二主轴(21)；夹具保持平台机构包括旋转夹具(5)、夹具保持平台(3)、工件保持盘(16)；电机传动机构包括伺服电机(9)、联轴器(8)、第一主轴(7)、滚动轴承(10)、轮齿传动零件(4)、平键(11)；所述抛光容器（1）底部中间设有安装轴孔，第二主轴(21)穿过抛光容器（1）底部的安装轴孔伸入抛光容器（1）内部，第二主轴(21)由外部动力装置控制转动，第二主轴(21)的顶部与抛光托盘(20)连接，抛光托盘(20)安装在抛光盘(2)的底部，第一电磁铁(18)和第二电磁铁(19)分别安装在抛光盘(2) 底部和抛光容器(1)底部内壁，抛光盘(2)的上部为固定在抛光容器(1)内壁上的夹具保持平台(3)，轮齿传动零件(4)安装在夹具保持平台(3)上部且内壁设有轮齿，夹具保持平台(3)上设有多个工位孔，工位孔内底部设置有空心的凸出平台，旋转夹具(5)包括空心圆柱体及设在空心圆柱体上部外侧的轮齿，空心圆柱体的下端放置在夹具保持平台(3)工位孔的凸出平台上，旋转夹具的轮齿与轮齿传动零件(4)内壁的轮齿啮合，工件保持盘(16)卡在旋转夹具(5) 空心圆柱体孔的下端，夹具保持平台(3)与抛光盘(2)的间距为H，工件(17) 、压力传感器(22)均固定在工件保持盘(16)底部，电磁铁控制系统一端与压力传感器(22)连接，另一端与分别第一电磁铁(18)和第二电磁铁(19)连接，电磁铁控制系统通过调节第一电磁铁(18)和第二电磁铁(19) 磁力大小来控制抛光盘(2)与夹具保持平台(3)的间距，伺服电机(9)安装在支撑架(6)上方，伺服电机(9)的电机轴穿过支撑架(6)上方支架后与联轴器(8)连接，联轴器(8)通过平键(11)与下方的第一主轴(7)连接，第一主轴(7)下端通过平键(11)与轮齿传动零件(4)连接，第一主轴(7)转动可带动轮齿传动零件(4)转动。