[发明专利]一种管靶贴合方法在审
申请号: | 201810535287.6 | 申请日: | 2018-05-30 |
公开(公告)号: | CN108817588A | 公开(公告)日: | 2018-11-16 |
发明(设计)人: | 何建进 | 申请(专利权)人: | 苏州精美科光电材料有限公司 |
主分类号: | B23K1/00 | 分类号: | B23K1/00;B23K3/08 |
代理公司: | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人: | 明志会 |
地址: | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明为管靶贴合方法,包括以下步骤:将需要贴合的管靶和背管位置固定,使得管靶和背管均竖直放置且管靶和背管之间的间隙均匀;将固定好的管靶和背管置于密封的真空罩内部,将真空罩的底部与管道连接,管道的下端口插入管靶和背管之间的间隙,管道的上端口高于管靶和背管的顶面,管道的下端口与管靶和背管的底面齐平;对真空罩及管道进行加热,使得真空罩及管道内部温度高于铟的熔点;将铟液从管道灌入,待铟液填满管靶和背管之间的间隙后,停止灌入;停止加热,待铟冷却为固态后,管靶和背管的贴合完成,将管靶和背管取出。本发明利用真空和连通器的原理,确保铟在贴合的过程中不会被氧化,铟可以灌满管靶和背管的间隙,使管靶贴合均匀。 | ||
搜索关键词: | 管靶 背管 贴合 真空罩 下端口 灌入 熔点 底面齐平 管道连接 管道内部 间隙均匀 竖直放置 停止加热 插入管 连通器 上端口 顶面 灌满 加热 填满 种管 冷却 密封 取出 | ||
【主权项】:
1.一种管靶贴合方法,其特征在于:包括以下步骤:S1.将需要贴合的管靶和背管位置固定,使得管靶和背管均竖直放置且管靶和背管之间的间隙均匀;S2.将固定好的管靶和背管置于密封的真空罩内部,将真空罩的底部与管道连接,管道的下端口插入管靶和背管之间的间隙,管道的上端口高于管靶和背管的顶面,管道的下端口与管靶和背管的底面齐平;S3.对真空罩及管道进行加热,使得真空罩及管道内部温度高于铟的熔点;S4.将铟液从管道灌入,待铟液填满管靶和背管之间的间隙后,停止灌入;S5.停止加热,待铟冷却为固态后,管靶和背管的贴合完成,将管靶和背管取出。
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