[发明专利]基于氧化镓/镓酸锌异质结纳米阵列的柔性气敏传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201810535389.8 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN108982600B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 杨丽娜 | 申请（专利权）人： | 杨丽娜 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 322207 浙江省金华*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种基于氧化镓/镓酸锌异质结纳米阵列的柔性气敏传感器及其制备方法，包括Ti/Au电极，柔性玻璃纤维布衬底，位于柔性玻璃纤维布衬底上的ZnGa |
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| 搜索关键词： | 基于 氧化 镓酸锌异质结 纳米 阵列 柔性 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于氧化镓/镓酸锌异质结纳米阵列的柔性气敏传感器，其特征在于，包括Ti/Au电极，柔性玻璃纤维布衬底，位于柔性玻璃纤维布衬底上的ZnGa2O4薄膜，位于ZnGa2O4薄膜上的β‑Ga2O3纳米柱阵列；所述Ti/Au电极为两个，分别位于ZnGa2O4薄膜上方和位于β‑Ga2O3纳米柱阵列上方；所述ZnGa2O4薄膜与β‑Ga2O3纳米柱阵列之间构成氧化镓/镓酸锌异质结纳米阵列。
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