[发明专利]一种适用于加工超硬材料的激光加工装置及加工方法在审

专利信息
申请号: 201810535592.5 申请日: 2018-05-29
公开(公告)号: CN108406097A 公开(公告)日: 2018-08-17
发明(设计)人: 王东;马建立;李游 申请(专利权)人: 深圳光韵达光电科技股份有限公司
主分类号: B23K26/046 分类号: B23K26/046
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人: 黄议本
地址: 518000 广东省深圳市南山区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种适用于加工超硬材料的激光加工装置及加工方法。所述装置包括多面体聚焦单元、旋转单元和焦点调节单元,所述多面体聚焦单元用于使入射激光在材料表面上聚焦成焦点,所述旋转单元通过驱动所述多面体聚焦单元的至少一部分旋转从而使所述焦点在所述材料表面往复运动,所述焦点调节单元用于调节所述多面体聚焦单元以改变所述焦点在所述材料表面的厚度方向上的位置。所述加工方法包括:使入射激光在材料表面上聚焦成焦点;通过旋转运动改变入射激光的出射方向使所述焦点在所述材料表面往复运动;改变所述焦点在所述材料表面的厚度方向上的位置。本发明可大幅提高加工效率,明显提高加工质量,对较厚的超硬材料进行加工更有优势。
搜索关键词: 聚焦单元 多面体 加工 焦点 超硬材料 入射激光 激光加工装置 焦点调节单元 旋转单元 聚焦 加工效率 出射 驱动
【主权项】:
1.一种适用于加工超硬材料的激光加工装置,其特征在于包括:多面体聚焦单元、旋转单元和焦点调节单元,所述多面体聚焦单元用于使入射激光在材料表面上聚焦成焦点,所述旋转单元通过驱动所述多面体聚焦单元的至少一部分旋转从而使所述焦点在所述材料表面往复运动,所述焦点调节单元用于调节所述多面体聚焦单元以改变所述焦点在所述材料表面的厚度方向上的位置。
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