[发明专利]一种开尔文探针测试装置及其测试方法有效
| 申请号： | 201810541453.3 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN108802442B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 仝宏韬;张慧霞;李开伟;冯昌;张宇;刘亚鹏 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所青岛分部 |
| 主分类号： | G01R1/07 | 分类号： | G01R1/07 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 266237 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种开尔文探针测试装置，用于测量样件表面；包括中控机、控制器、轴向控制盒、三维移动平台、探针、样品测试台及微区摄像器；中控机与控制器通信连接；控制器通信连接轴向控制盒；轴向控制盒电性连接三维移动平台，且控制三维移动平台沿X轴和/或Y轴和/或Z轴移动；探针电性连接控制器，且安装于三维移动平台上，用于扫描测量样件表面；样品测试台用于安装测量样件，测量样件能够以样品测试台的转轴为中心旋转任意角度，并与探针保持位置对应；微区摄像器用于观察探针与样品测试台之间的距离及测量样件表面。本发明提供了其的测试方法，达到了测量非典型平面的目的，提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 开尔文 探针 测试 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种开尔文探针测试装置，用于测量样件表面；其特征在于，包括：中控机(1)、控制器(3)、轴向控制盒、三维移动平台(6)、探针(7)、样品测试台(8)及微区摄像器(10)；所述中控机(1)与所述控制器(3)通信连接；所述控制器(3)通信连接所述轴向控制盒；所述轴向控制盒电性连接所述三维移动平台(6)，且控制所述三维移动平台(6)沿X轴和/或Y轴和/或Z轴移动；所述探针(7)电性连接所述控制器(3)，且安装于所述三维移动平台(6)上，用于扫描所述测量样件表面；所述样品测试台(8)用于安装所述测量样件，其中部具有转轴(86)，所述测量样件能够以所述转轴(86)为中心旋转任意角度，并与所述探针(7)位置对应；所述微区摄像器(10)用于观察所述探针(7)与所述样品测试台(8)之间的距离及所述测量样件表面。
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